】 Uvođenje proizvoda
MATERIJALNA SVOJSTVA
Parametar | Karakteristično | ASTM metoda kontrole |
Tip / Dopant | P, bor N, fosfor N, antimon N, arsen | F42 |
Orijentacije | <100>, <111> odrezati orijentacije po specifikacijama kupca | F26 |
Sadržaj kiseonika | 10 19 ppmA Prilagođena odstupanja po specifikaciji kupca | F121 |
Sadržaj ugljenika | <0.6> | F123 |
Opsezi otpornosti - P, bor - N, fosfor - N, antimon - N, arsen | 0.001 - 50 ohm cm | F84 |
MEHANIČKA SVOJSTVA
Parametar | Prime | Monitor / Test A | Test | Metoda ASTM |
Diameter | 300 ± 0,2 mm | 300 ± 0,2 mm | 300 ± 0,5 mm | F613 |
Debljina | 775 ± 20 µm (standardno) | 775 ± 25 µm (standard) 450 ± 25 µm 625 ± 25 µm 1000 ± 25 µm 1300 ± 25 µm 1500 ± 25 µm | 775 ± 50 µm (standardno) | F533 |
TTV | <5> | <10> | <15> | F657 |
Luk | <30> | <30> | <50> | F657 |
Wrap | <30> | <30> | <50> | F657 |
Edge Rounding | SEMI-STD | F928 | ||
Označavanje | Samo SEMI-Stan, SEMI-STD Stanovi Jeida Stan, Notch | F26, F671 | ||
KVALITET POVRŠINE
Parametar | Prime | Monitor / Test A | Test | Metoda ASTM |
Kriteriji prednje strane | ||||
Stanje površine | Chemical Mechanical Polished | Chemical Mechanical Polished | Chemical Mechanical Polished | F523 |
Površinska hrapavost | <2 a=""> | <2 a=""> | <2 a=""> | |
Kontaminacija, čestice @> 0,3 µm | = 20 | = 20 | = 30 | F523 |
Haze, jame, kora od naranče | Nema | Nema | Nema | F523 |
Saw Marks, striments | Nema | Nema | Nema | F523 |
Kriterijumi za pozadinu | ||||
Pukotine, pruge, tragovi pile, mrlje | Nema | Nema | Nema | F523 |
Stanje površine | Kaustična urezana | F523 | ||
】 Opis proizvoda
Savršen za mikrofluidne aplikacije. Za mikroelektroniku ili MEMS aplikacije, molimo da nas kontaktirate za detaljne specifikacije.
Dok se poluprovodnički uređaji nastavljaju smanjivati, sve je važnije da vafli imaju visoku površinsku kvalitetu i na prednjoj i na stražnjoj strani. Trenutno su ove pločice najčešće u mikroelektromehaničkim sistemima (MEMS), vafelnim vezama, izradi silikona na izolatoru (SOI) i primjenama sa zahtjevima za usku ravnotežu. Mikroelektronika priznaje evoluciju poluprovodničke industrije i posvećena je pronalaženju dugoročnih rješenja za sve zahtjeve kupaca.
Velika zaliha dvostruko poliranih vafla u svim prečnicima pločica u rasponu od 100mm do 300mm. Ako vaša specifikacija nije dostupna u našem inventaru, uspostavili smo dugoročne odnose sa brojnim dobavljačima koji su sposobni za proizvodnju po narudžbi da odgovaraju svim jedinstvenim specifikacijama. Dvostrano polirane vafle dostupne su u siliciju, staklu i drugim materijalima koji se obično koriste u poluvodičkoj industriji.
Prilagođeno dicing i poliranje je također dostupno u skladu sa vašim zahtjevima. Slobodno nas kontaktirajte.
】 Karakteristike proizvoda
· 12 "P / N tip, polirana silikonska obloga (25 kom)
· Orijentacija: 300
· Otpornost: 0.1 - 40 ohm • cm (može varirati od serije do serije)
· Debljina: 775 +/- 20um
· Prime / Monitor / Test Grade
Popularne oznake: 12 inča (300mm) vafel, Kina, dobavljači, proizvođači, tvornica, izrađena u Kini
